Поиск
Двусторонняя абразивная доводка подложек с учетом износа притиров
| Авторы: Чижов А.С. | Опубликовано: 16.09.2013 |
| Опубликовано в выпуске: #11(620)/2011 | |
| Раздел: Технология и технологические машины | |
| Ключевые слова: двусторонняя доводка, монокристаллическая подложка, упругая деформация, абразивная обработка, износ инструмента, кассета, правка притиров |
Рассмотрены вопросы, связанные с точностью обработки и качеством поверхности подложек из монокристаллов для интегральных микросхем при двусторонней абразивной обработке. Учтены износ инструмента и упругое контактирование поверхностей. Приведены расчетные формулы для ограничения эксцентриситета приложения нагрузки на детали, изменения давления в зоне обработки и распределения износа на поверхности инструмента. Обоснованы два варианта износа притиров с разной длительностью между правками рабочих поверхностей.
