Поиск
Поиск по ключевому слову "подложка"
К вопросу влияния температуры на однородность удельного сопротивления подложек карбида кремния
| Авторы: Вьюгинов В.Н., Гудков А.Г., Шашурин В.Д. | Опубликовано: 09.06.2016 |
| Опубликовано в выпуске: #6(675)/2016 | |
| Раздел: Технология и технологические машины | |
| Ключевые слова: карбид кремния, электрические свойства, подложка, полупроводник, удельное сопротивление, температурное воздействие, монокристалл |
