Поиск
Поиск по ключевому слову "атомно-силовая микроскопия"
Анализ разрушающих методов измерения и контроля толщины тонких пленок
| Авторы: Шупенев А.Е., Панкова Н.С., Коршунов И.С., Григорьянц А.Г. | Опубликовано: 12.03.2019 |
| Опубликовано в выпуске: #3(708)/2019 | |
| Раздел: Машиностроение и машиноведение | Рубрика: Машиноведение | |
| Ключевые слова: толщина тонких пленок, метод косого шлифа, метод сферического шлифа, стилусная профилометрия, атомно-силовая микроскопия |
