Поиск
Поиск по ключевому слову "толщина тонких пленок"
Анализ неразрушающих методов измерения и контроля толщины тонких пленок
| Авторы: Шупенев А.Е., Панкова Н.С., Коршунов И.С., Григорьянц А.Г. | Опубликовано: 15.04.2019 |
| Опубликовано в выпуске: #4(709)/2019 | |
| Раздел: Машиностроение и машиноведение | Рубрика: Методы и приборы контроля и диагностики материалов, изделий, веществ и природной среды | |
| Ключевые слова: толщина тонких пленок, методы in situ, дифракция быстрых электронов, многолучевая интерферометрия, гравиметрический метод |
Анализ разрушающих методов измерения и контроля толщины тонких пленок
| Авторы: Шупенев А.Е., Панкова Н.С., Коршунов И.С., Григорьянц А.Г. | Опубликовано: 12.03.2019 |
| Опубликовано в выпуске: #3(708)/2019 | |
| Раздел: Машиностроение и машиноведение | Рубрика: Машиноведение | |
| Ключевые слова: толщина тонких пленок, метод косого шлифа, метод сферического шлифа, стилусная профилометрия, атомно-силовая микроскопия |