Поиск
Поиск по ключевому слову "гравиметрический метод"
Анализ неразрушающих методов измерения и контроля толщины тонких пленок
Авторы: Шупенев А.Е., Панкова Н.С., Коршунов И.С., Григорьянц А.Г. | Опубликовано: 15.04.2019 |
Опубликовано в выпуске: #4(709)/2019 | |
Раздел: Машиностроение и машиноведение | Рубрика: Методы и приборы контроля и диагностики материалов, изделий, веществ и природной среды | |
Ключевые слова: толщина тонких пленок, методы in situ, дифракция быстрых электронов, многолучевая интерферометрия, гравиметрический метод |